锗单晶炉热场清理工作台的制作方法


本实用新型涉及锗单晶炉热场清理技术领域,具体为一种锗单晶炉热场清理工作台。



背景技术:

锗单晶炉是一种在惰性气体环境中,用石墨加热器将多晶硅等多晶材料熔化,用直拉法生长无错位锗单晶的设备,锗单晶炉热场是锗单晶炉中必备部件,主要由柱状等静压石墨加工而成,加热、保温、热屏、防漏(硅)等均是通过热场来实现的,锗单晶炉热场在运行一炉完成后,需要对其进行拆炉清理,清除附着在石墨件上的碳化硅、硅蒸汽等杂质。

当前清理石墨件上附着杂质时,操作人员在石墨清理间内作业,主要采用百洁布和小型研磨机,在打磨杂质时容易造成扬尘,粉尘较多,清理作业环境较差,故采用吸尘装置对粉尘进行吸除,为了减轻工作人员的清理负担,采用固定式的吸尘装置对粉尘进行吸除,死角较多,粉尘的吸收速度慢,后出现的改善方式采用两组吸尘口正吸和反吹的方式全面清除死角粉尘,但是清理工作台的密封性不高,导致粉尘溢散,变相增加工作人员的清理负担,然而密封性好的清理工作台端盖难打开,使用不够便捷,实用性差。



技术实现要素:

本实用新型的目的在于提供一种锗单晶炉热场清理工作台,具备有效减少粉尘吸收的死角,增大粉尘的吸收速度,避免粉尘堆积对石墨件加工造成的影响,密封效果强,有效避免粉尘遗漏,改善工作环境,减轻工作人员的清理负担,避免良好密封情况下工作人员无法将密封盖提起,使用便捷的优点,可以解决现有技术中死角较多,粉尘的吸收速度慢,密封性不高的清理工作台粉尘容易溢散,密封性高的清理工作台端盖难打开,使用不够便捷的问题。

为实现上述目的,本实用新型提供如下技术方案:一种锗单晶炉热场清理工作台,包括密封工作箱组件、加工台组件和手动开箱组件,密封工作箱组件的内部安装加工台组件,加工台组件的底部与手动开箱组件固定连接,手动开箱组件位于密封工作箱组件的下方,密封工作箱组件包括密封箱体、弧形转动环、转轴、侧安装架、支撑底板和密封盖,密封箱体的背部外部固定安装两组侧安装架,侧安装架的底部固定在支撑底板上,两组侧安装架之间活动安装转轴,转轴的外壁包覆弧形转动环,弧形转动环与密封盖的侧壁固定连接,密封箱体的内部安装加工台组件;

加工台组件包括石墨放置台、支撑曲柱、第一吸尘口、底座和第二吸尘口,石墨放置台设置为环形镂空结构,石墨放置台的底部通过支撑曲柱与底座固定连接,底座的外壁固定安装环形的第一吸尘口,底座的底部与密封箱体的底面接触连接,密封箱体的侧壁上环绕设置第二吸尘口,第二吸尘口的高度低于石墨放置台的顶面高度,底座的底部设有对接口,对接口与手动开箱组件固定连接;

手动开箱组件包括箱体壁、电机安装台、电机、手动拉伸轴、偏差件、齿条、齿轮、连接杆、对接桩和弧形转动臂,箱体壁的顶面与密封箱体的底面固定连接,箱体壁的底面通过电机安装台固定连接电机,电机的侧面设有手动拉伸轴,手动拉伸轴的一端伸出箱体壁,手动拉伸轴的另一端通过螺栓与偏差件相接,偏差件的端焊接齿条,齿条与齿轮啮合,齿轮固定安装在连接杆上,连接杆的两端在两组对接桩的内部转动,连接杆的两端均固定安装弧形转动臂,弧形转动臂的另一端与弧形转动环的外表面固定连接。

优选的,所述第一吸尘口的直径尺寸大于石墨放置台的直径尺寸。

优选的,所述密封盖的两侧边沿设置为左右交错的长锯齿状结构,密封盖的形状尺寸与密封箱体顶部的形状尺寸一致。

优选的,所述电机的动力输出端穿过密封箱体的底面与对接口固定连接。

优选的,所述对接桩的底部固定在箱体壁的底面上。

与现有技术相比,本实用新型的有益效果如下:

本锗单晶炉热场清理工作台,将石墨件放在石墨放置台上,电机带动底座转动使得工作人员能够全方位无死角的对石墨件进行加工处理,在加工过程中的粉尘由第一吸尘口和第二吸尘口吸入到中空的密封箱体的箱体板壁内部,第一吸尘口和第二吸尘口的开设高度不一,有效减少粉尘吸收的死角,增大粉尘的吸收速度,避免粉尘堆积对石墨件加工造成的影响,完成加工后的密封箱体内部仍然有未处理的遗漏粉尘,将密封盖盖在密封箱体上,通过第一吸尘口正吸、第二吸尘口反吹的方式完成剩余粉尘的清理吸入,密封盖的两侧边沿设置为左右交错的长锯齿状结构,左右交错的长锯齿状结构卡合在密封箱体的箱体板侧壁上,加强密封效果,有效避免粉尘遗漏,改善工作环境,减轻工作人员的清理负担,清理彻底完成后,拉动手动拉伸轴,手动拉伸轴带动齿条后退,使得齿轮产生顺时针方向上的旋转,并通过连接杆带动弧形转动臂顺时针旋转将密封盖提起,避免良好密封情况下工作人员无法将密封盖提起,使用便捷,增加实用性。

附图说明

图1为本实用新型的密封盖闭合状态下的整体结构示意图;

图2为本实用新型的密封盖开启状态下的整体结构示意图;

图3为本实用新型的加工台组件结构示意图;

图4为本实用新型的对接口开设位置示意图;

图5为本实用新型的手动开箱组件结构示意图。

图中:1、密封工作箱组件;11、密封箱体;12、弧形转动环;13、转轴;14、侧安装架;15、支撑底板;16、密封盖;2、加工台组件;21、石墨放置台;22、支撑曲柱;23、第一吸尘口;24、底座;241、对接口;25、第二吸尘口;3、手动开箱组件;31、箱体壁;32、电机安装台;33、电机;34、手动拉伸轴;35、偏差件;36、齿条;37、齿轮;38、连接杆;39、对接桩;310、弧形转动臂。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图,对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本实用新型保护的范围。

请参阅图1,一种锗单晶炉热场清理工作台,包括密封工作箱组件1、加工台组件2和手动开箱组件3,密封工作箱组件1的内部安装加工台组件2,加工台组件2的底部与手动开箱组件3固定连接,手动开箱组件3位于密封工作箱组件1的下方,密封工作箱组件1包括密封箱体11、弧形转动环12、转轴13、侧安装架14、支撑底板15和密封盖16,密封箱体11的背部外部固定安装两组侧安装架14,侧安装架14的底部固定在支撑底板15上,两组侧安装架14之间活动安装转轴13,转轴13的外壁包覆弧形转动环12,弧形转动环12与密封盖16的侧壁固定连接,密封箱体11的内部安装加工台组件2。

请参阅图2-4,加工台组件2包括石墨放置台21、支撑曲柱22、第一吸尘口23、底座24和第二吸尘口25,石墨放置台21设置为环形镂空结构,石墨放置台21的底部通过支撑曲柱22与底座24固定连接,底座24的外壁固定安装环形的第一吸尘口23,底座24的底部与密封箱体11的底面接触连接,密封箱体11的侧壁上环绕设置第二吸尘口25,第二吸尘口25的高度低于石墨放置台21的顶面高度,底座24的底部设有对接口241,对接口241与手动开箱组件3固定连接。

请参阅图5,手动开箱组件3包括箱体壁31、电机安装台32、电机33、手动拉伸轴34、偏差件35、齿条36、齿轮37、连接杆38、对接桩39和弧形转动臂310,箱体壁31的顶面与密封箱体11的底面固定连接,箱体壁31的底面通过电机安装台32固定连接电机33,电机33的侧面设有手动拉伸轴34,手动拉伸轴34的一端伸出箱体壁31,手动拉伸轴34的另一端通过螺栓与偏差件35相接,偏差件35的端焊接齿条36,齿条36与齿轮37啮合,齿轮37固定安装在连接杆38上,连接杆38的两端在两组对接桩39的内部转动,连接杆38的两端均固定安装弧形转动臂310,弧形转动臂310的另一端与弧形转动环12的外表面固定连接,第一吸尘口23的直径尺寸大于石墨放置台21的直径尺寸,密封盖16的两侧边沿设置为左右交错的长锯齿状结构,密封盖16的形状尺寸与密封箱体11顶部的形状尺寸一致,电机33的动力输出端穿过密封箱体11的底面与对接口241固定连接,对接桩39的底部固定在箱体壁31的底面上。

工作原理:将石墨件放在石墨放置台21上,电机33带动底座24转动使得工作人员能够全方位无死角的对石墨件进行加工处理,在加工过程中的粉尘由第一吸尘口23和第二吸尘口25吸入到中空的密封箱体11的箱体板壁内部,完成加工后的密封箱体11内部仍然有未处理的遗漏粉尘,将密封盖16盖在密封箱体11上,通过第一吸尘口23正吸、第二吸尘口25反吹的方式完成剩余粉尘的清理吸入,密封盖16的两侧边沿设置为左右交错的长锯齿状结构,左右交错的长锯齿状结构卡合在密封箱体11的箱体板侧壁上,清理彻底完成后,拉动手动拉伸轴34,手动拉伸轴34带动齿条36后退,使得齿轮37产生顺时针方向上的旋转,并通过连接杆38带动弧形转动臂310顺时针旋转将密封盖16提起。

综上所述:本锗单晶炉热场清理工作台,将石墨件放在石墨放置台21上,电机33带动底座24转动使得工作人员能够全方位无死角的对石墨件进行加工处理,在加工过程中的粉尘由第一吸尘口23和第二吸尘口25吸入到中空的密封箱体11的箱体板壁内部,第一吸尘口23和第二吸尘口25的开设高度不一,有效减少粉尘吸收的死角,增大粉尘的吸收速度,避免粉尘堆积对石墨件加工造成的影响,完成加工后的密封箱体11内部仍然有未处理的遗漏粉尘,将密封盖16盖在密封箱体11上,通过第一吸尘口23正吸、第二吸尘口25反吹的方式完成剩余粉尘的清理吸入,密封盖16的两侧边沿设置为左右交错的长锯齿状结构,左右交错的长锯齿状结构卡合在密封箱体11的箱体板侧壁上,加强密封效果,有效避免粉尘遗漏,改善工作环境,减轻工作人员的清理负担,清理彻底完成后,拉动手动拉伸轴34,手动拉伸轴34带动齿条36后退,使得齿轮37产生顺时针方向上的旋转,并通过连接杆38带动弧形转动臂310顺时针旋转将密封盖16提起,避免良好密封情况下工作人员无法将密封盖16提起,使用便捷,增加实用性。

需要说明的是,在本文中,诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来,而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且,术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含,从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素,而且还包括没有明确列出的其他要素,或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。

尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例,对于本领域的普通技术人员而言,可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型,本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。

主题:干燥设备